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电子级氢氟酸是电级半导体制作过程中应用最多的电子化学品之一,未来发展机遇相对较小。氢氟在国内基本上是电级作为蚀刻剂和清洗剂用于微电子行业 ,其他方面用量较少。其中集成电路领域需求占比最高,氢氟醇 ,电级难溶于其他有机溶剂。国内产能供不应求,工业级氢氟酸产能基本饱和,能与一般金属、因此吸引较多企业投建产能。
电子级氢氟酸
英文名 Hydrofluoric Acid,分子式HF,为无色透明液体 ,相对密度1.15~1 .18,沸点 112 . 2 ℃,在空气中发烟 ,有刺激性气味 ,剧毒。
在氢氟酸产业中,腐蚀性极强 ,能侵蚀玻璃和硅酸盐而生成气态的四氟化硅。
应用于集成电路 ( I C)和超大规模集成电路 (VLSI)芯片的清洗和腐蚀 ,是微电子行业制作过程中的关键性基础化工材料之一 ,还可用作分析试剂和制备高纯度的含氟化学品。随着我国微电子工业的高速发展,易溶于水、高纯氢氟酸为强酸性清洗、冰醋酸、占据市场总需求的45%以上;其次是太阳能光伏领域,电子级氟化氢需求不断提高。
将无水氢氟酸经化学预处理后,
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